通信人家园
标题: 中国EUV光刻机取得新进展 [查看完整版帖子] [打印本页]
时间: 2024-9-23 10:39
作者: coffee198375
标题: 中国EUV光刻机取得新进展
尽管美国实施了制裁措施，但上海微电子装备有限公司（SMEE）最近公开的一项新专利显示，中国企业在本土的先进光刻技术领域仍在持续取得进展。
据企业信息查询平台 Qichacha 显示，SMEE 于2023年3月提交的“极紫外[EUV]辐射发生器及光刻设备”专利已于近日公布，目前还在中国国家知识产权局的审查过程中。 这项专利的公布意味着SMEE在EUV光刻技术方面取得了新的进展，而这项技术一直被认为是中国半导体行业的一个短板。
尽管SMEE多年来一直在努力，但在大规模生产28纳米及更小工艺节点的光刻设备方面，与荷兰的ASML相比仍有差距。ASML是全球EUV光刻机市场的主导者，自2019年起，该公司被禁止向中国出口此类设备。2023年11月20日，ASML的工程师在荷兰费尔德霍芬的总部展示了高NA EUV工具。2022年12月，SMEE与35家中国企业一同被列入美国商务部的黑名单，这限制了它们从美国进口某些技术的能力。
在中国的光刻机市场中，ASML、尼康和佳能三家公司占据了99%的市场份额。光刻机是用于在硅片上印制复杂电路图案的关键设备。目前，只有ASML能够生产用于制造7纳米以下芯片的机器。随着中国市场的快速增长，ASML面临着越来越大的压力，需要为中国大陆的客户提供服务。根据ASML的2023年年报，中国大陆已经成为ASML的第二大市场，仅次于台湾。
但由于订单积压严重，ASML只能完成来自中国大陆50%的订单。自9月6日荷兰更新出口限制以来，ASML在向中国提供光刻系统备件和软件更新方面需要获得许可。设备的维修也受到监管。2023年，EUV机器占ASML系统销售额的42%，销售额达到219亿欧元（约合242亿美元）。全球的代工厂，从台湾的半导体制造公司到韩国的三星电子，都在争相购买这些工具，以继续生产3纳米级别的芯片。EUV光刻技术使用的光波长仅为13.5纳米，接近X射线水平，比传统的193纳米波长的深紫外光刻技术短了近14倍。先进的EUV扫描仪对于批量生产7纳米以下的半导体至关重要，因为它们能够提供更高的生产良率，良率是衡量制造过程中无缺陷产品比例的关键指标。
时间: 2024-9-23 11:04
作者: wjhqr
目前只能搞55nm的，先搞到28nm再说吧，这个难度也是巨大的，可能还需要若干年。
至于EUV，别想了，不可能的
时间: 2024-9-23 11:22
作者: laozhu
前几天是DUV，这又是EUV，厉害了哈
时间: 2024-9-23 11:56
作者: cnqq9999
慢慢来，一切都是时间磨出来的
时间: 2024-9-23 12:19
作者: 战国君
光刻机是人造的
时间: 2024-9-23 12:25
作者: Desla的马甲
战国君 发表于 2024-9-23 12:19
光刻机是人造的
你黄皮的能跟白皮比吗？精美人眼里，有些东西只有白皮才做得了。
时间: 2024-9-23 12:34
作者: 伤心小镇
wjhqr 发表于 2024-9-23 11:04
目前只能搞55nm的，先搞到28nm再说吧，这个难度也是巨大的，可能还需要若干年。
至于EUV，别想了，不可能的 ...
齐头并进你懂吗？
时间: 2024-9-23 13:05
作者: wjhqr
伤心小镇 发表于 2024-9-23 12:34 
齐头并进你懂吗？
齐头并进就行了？以前为啥不齐头并进？
时间: 2024-9-23 13:07
作者: wjhqr
战国君 发表于 2024-9-23 12:19
光刻机是人造的
人和人的差距大了去了。。。
人家能拿世界杯冠军，你为啥不行
人家能人均五六万美元，你为啥不行
人家农民老了能拿好几千，你为啥只有一百？
时间: 2024-9-23 13:27
作者: huaweizhongxing
wjhqr 发表于 2024-9-23 13:07
人和人的差距大了去了。。。
人家能拿世界杯冠军，你为啥不行
人家能人均五六万美元，你为啥不行
美国光刻机咋是0，中国光刻机纯靠自己还没有盟友现在55.
时间: 2024-9-23 14:47
作者: 战国君
本帖最后由 战国君 于 2024-9-23 15:16 编辑
wjhqr 发表于 2024-9-23 13:07
人和人的差距大了去了。。。
人家能拿世界杯冠军，你为啥不行
人家能人均五六万美元，你为啥不行
人和人的差距大了去了，有人骨头硬，有人骨头软，还有人无脊椎。
你不行是你不行，不是中国人不行。
时间: 2024-9-23 16:48
作者: wjhqr
战国君 发表于 2024-9-23 14:47
人和人的差距大了去了，有人骨头硬，有人骨头软，还有人无脊椎。
你不行是你不行，不是中国人不行。
你们那么硬、那么行，为啥每月才一百？
时间: 2024-9-23 16:56
作者: 马云的云
Desla的马甲 发表于 2024-9-23 12:25
你黄皮的能跟白皮比吗？精美人眼里，有些东西只有白皮才做得了。
先拿到10个诺贝尔奖再来吹吧。
基础科学都不重视，靠自信心爆棚就能赶英超美？
时间: 2024-9-23 17:01
作者: szlanjack
攻克是迟早的事情，从历史经验看，我们中国科学家和工程师从来没有让人失望过，人家不让我们吃饭，我们就砸了它们的锅。
时间: 2024-9-23 17:06
作者: wjhqr
szlanjack 发表于 2024-9-23 17:01
攻克是迟早的事情，从历史经验看，我们中国科学家和工程师从来没有让人失望过，人家不让我们吃饭，我们就砸 ...
迟早是多迟多早？我还说国足迟早会拿世界杯冠军呢
时间: 2024-9-23 17:14
作者: szlanjack
wjhqr 发表于 2024-9-23 17:06
迟早是多迟多早？我还说国足迟早会拿世界杯冠军呢
快了。。。
时间: 2024-9-23 17:25
作者: 战国君
wjhqr 发表于 2024-9-23 16:48
你们那么硬、那么行，为啥每月才一百？
确实不如“零元购”硬
时间: 2024-9-23 17:30
作者: asdfasdfa
能稍微专业一点么，半导体素养和抖音也没啥区别，少吹牛皮
时间: 2024-9-23 17:34
作者: 战国君
马云的云 发表于 2024-9-23 16:56
先拿到10个诺贝尔奖再来吹吧。
基础科学都不重视，靠自信心爆棚就能赶英超美？
啥年代了，还“赶英”？
时间: 2024-9-23 17:34
作者: just10089
laozhu 发表于 2024-09-23 11:22:08 前几天是DUV，这又是EUV，厉害了哈
可能一起研发出来
时间: 2024-9-23 17:36
作者: wjhqr
就拿EUV光刻机的镜头来说吧，德国蔡司的1.2m透镜做到了粗糙度20pm，若放大到地球那么大的话那么整个地球表面粗糙度只有0.2mm，号称宇宙中最光滑的人造物体，基本做到了物理极限。
蔡司二百年光学技术的积淀，举世无双，我们还需要多少年？
时间: 2024-9-23 17:41
作者: wjhqr
EUV光刻机中还有大量的高精密器件，需要超高精度加工机械和超高精密测量仪器，这些美日德垄断了，这个领域我们和西方的差距比足球的差距还大的多。
40年前东芝偷卖给苏连的9轴5联动数控机床，到现在我们也做不出来
时间: 2024-9-23 17:48
作者: 马云的云
战国君 发表于 2024-9-23 17:34
啥年代了，还“赶英”？
比比科技。
别看不起英国。
时间: 2024-9-23 17:52
作者: 马云的云
wjhqr 发表于 2024-9-23 17:41
EUV光刻机中还有大量的高精密器件，需要超高精度加工机械和超高精密测量仪器，这些美日德垄断了，这个领域我 ...
GDP泡泡吹的很大，然后论坛上这帮人就看不起那些GDP比我们低的西方国家了。
时间: 2024-9-23 18:01
作者: 如果4
现在科技没有大的进展，中国肯定能追上来
时间: 2024-9-23 18:42
作者: 战国君
wjhqr 发表于 2024-9-23 17:36
就拿EUV光刻机的镜头来说吧，德国蔡司的1.2m透镜做到了粗糙度20pm，若放大到地球那么大的话那么整个地球表面 ...
“就拿EUV光刻机的镜头来说吧，德国蔡司的1.2m透镜”
见过脑残的，没见过这么脑残的。但凡有一点光学知识，也不会说出EUV光刻机镜头是透镜。
时间: 2024-9-23 18:45
作者: 伤心小镇
wjhqr 发表于 2024-9-23 13:05
齐头并进就行了？以前为啥不齐头并进？
是斗没大的进步，还不是太相信全球化了。
时间: 2024-9-23 18:46
作者: 伤心小镇
wjhqr 发表于 2024-9-23 17:36
就拿EUV光刻机的镜头来说吧，德国蔡司的1.2m透镜做到了粗糙度20pm，若放大到地球那么大的话那么整个地球表面 ...
到时候如果做出来了，你就说是偷的，还不了解你们这些人的套路，呵呵
时间: 2024-9-23 18:49
作者: axuan
难道偷的还少么 呵呵
时间: 2024-9-23 18:50
作者: hwwdx
别人发展了一两百年，如果我们用几十年的时间追到差距很小或者追平，甚至部分领域超越，那已经是巨大的成就和胜利。
当然精美人不这么看，管你起步差了多少年，现在没追上那就是不行！哈哈
时间: 2024-9-23 21:05
作者: Vladimir_lenin
互联网上最不缺的就是好消息
时间: 2024-9-23 21:59
作者: 伤心小镇
axuan 发表于 2024-9-23 18:49
难道偷的还少么 呵呵
科技本来就是互相借鉴，科技就是这样进步的。你又想卖给别人，又不想让人研究，哪里有这么好的事？
时间: 2024-9-23 22:02
作者: 伤心小镇
飞机从莱特兄弟的版本发展到现在，一步步是怎么过来的。怎么到了中国这里，就变成了“偷”？
时间: 2024-9-23 22:42
作者: axuan
行行行 你说啥是啥
时间: 2024-9-24 01:26
作者: 桂npc
wjhqr 发表于 2024-9-23 11:04
目前只能搞55nm的，先搞到28nm再说吧，这个难度也是巨大的，可能还需要若干年。
至于EUV，别想了，不可能的 ...
你那么多年唱衰过来还不死心吧？
时间: 2024-9-24 01:27
作者: 桂npc
laozhu 发表于 2024-9-23 11:22
前几天是DUV，这又是EUV，厉害了哈
一直在同时搞。
一点不矛盾，。班毕竟市场需求不同，不可相互替代。
时间: 2024-9-24 01:28
作者: 桂npc
马云的云 发表于 2024-9-23 16:56
先拿到10个诺贝尔奖再来吹吧。
基础科学都不重视，靠自信心爆棚就能赶英超美？
压箱底的台词就这样没法改
时间: 2024-9-24 08:09
作者: laozhu
进步还是很快
时间: 2024-9-24 08:31
作者: liubillows
马云的云 发表于 2024-9-23 17:48
比比科技。
别看不起英国。
极其狭隘的”历史观“，认知里还是满清辫子
时间: 2024-9-24 08:56
作者: udown
Desla的马甲 发表于 2024-9-23 12:25
你黄皮的能跟白皮比吗？精美人眼里，有些东西只有白皮才做得了。
这话说的，黑皮还善跑，你能跑得过么？阶段性的差距的先承认找到差距再追赶。
时间: 2024-9-24 09:11
作者: Desla的马甲
本帖最后由 Desla的马甲 于 2024-9-24 09:12 编辑
udown 发表于 2024-9-24 08:56
这话说的，黑皮还善跑，你能跑得过么？阶段性的差距的先承认找到差距再追赶。
这话没毛病，但精美人们眼里就是你搞不定，追不上。潘展乐，刘翔之前，估计也没有哪个西方或精美人觉得中国人能赢。
时间: 2024-9-24 09:14
作者: hx99
wjhqr 发表于 2024-9-23 17:36
就拿EUV光刻机的镜头来说吧，德国蔡司的1.2m透镜做到了粗糙度20pm，若放大到地球那么大的话那么整个地球表面 ...
附件: usdog.jpg (2024-9-24 09:14, 120.46 KB) / 下载次数 0
https://test.txrjy.com/forum.php?mod=attachment&aid=NjUyOTExfDczNTNjZjAwfDE3Mjk4NTg4Mzh8MHww
时间: 2024-9-24 23:49
作者: sam_eric
cnqq9999 发表于 2024-9-23 11:56
慢慢来，一切都是时间磨出来的
国足大呼内行，哈哈
时间: 2024-9-24 23:50
作者: sam_eric
szlanjack 发表于 2024-9-23 17:01
攻克是迟早的事情，从历史经验看，我们中国科学家和工程师从来没有让人失望过，人家不让我们吃饭，我们就砸 ...
你真的知道我们这里几个重大突破是怎么来的，尤其是背后的细节，保证不敢说这个话，哈哈
时间: 2024-9-24 23:53
作者: coffee198375
wjhqr 发表于 2024-9-23 11:04
目前只能搞55nm的，先搞到28nm再说吧，这个难度也是巨大的，可能还需要若干年。
至于EUV，别想了，不可能的 ...
果然是米帝的语气。。。。
时间: 2024-9-24 23:54
作者: sam_eric
Vladimir_lenin 发表于 2024-9-23 21:05
互联网上最不缺的就是好消息
正常的，一个业内资深专家说“光刻机路还很长，起码还需10年起步”，另一个三校生网红高呼“中国人民站起来，光刻机攻破指日可待”，在现在网络环境，哪个更有流量？你更信哪个？哈哈
时间: 2024-9-24 23:54
作者: coffee198375
马云的云 发表于 2024-9-23 16:56
先拿到10个诺贝尔奖再来吹吧。
基础科学都不重视，靠自信心爆棚就能赶英超美？
云圣怎么能看上诺贝尔这么低端的奖项呢。。。。
时间: 2024-9-24 23:55
作者: coffee198375
wjhqr 发表于 2024-9-23 17:41
EUV光刻机中还有大量的高精密器件，需要超高精度加工机械和超高精密测量仪器，这些美日德垄断了，这个领域我 ...
我出100年前。。。。
时间: 2024-9-24 23:55
作者: coffee198375
liubillows 发表于 2024-9-24 08:31
极其狭隘的”历史观“，认知里还是满清辫子
别伤了友军。。。。
时间: 2024-9-25 06:20
作者: cnqq9999
sam_eric 发表于 2024-9-24 23:49
国足大呼内行，哈哈
国足就应该直接解散，10年内不要组建了，要不中国足协也解散得了，要他有何用
时间: 2024-9-25 09:14
作者: 马云的云
sam_eric 发表于 2024-9-24 23:54
正常的，一个业内资深专家说“光刻机路还很长，起码还需10年起步”，另一个三校生网红高呼“中国人民站起 ...
生活中受了折磨和委屈，需要在网络上发泄和沸腾。
时间: 2024-9-25 10:18
作者: szlanjack
sam_eric 发表于 2024-9-24 23:50
你真的知道我们这里几个重大突破是怎么来的，尤其是背后的细节，保证不敢说这个话，哈哈
华为7nm的mate60都出来了，难道还要信你的胡思乱想吗？美国人都没你自信。。。
时间: 2024-9-25 16:17
作者: szlanjack
马云的云 发表于 2024-9-23 17:48
比比科技。
别看不起英国。
阁下不会不知道英国政府都快破产了吧。
时间: 2024-9-25 16:39
作者: wjhqr
szlanjack 发表于 2024-9-25 16:17
阁下不会不知道英国政府都快破产了吧。
郑府破不破产和百姓过得好不好有个毛的关系呀，有的郑府穷困潦倒但民间富强安康，有的郑府富丽堂皇但百姓民不聊生。。。
时间: 2024-9-25 21:47
作者: Desla的马甲
本帖最后由 Desla的马甲 于 2024-9-26 08:35 编辑
wjhqr 发表于 2024-9-25 16:39
郑府破不破产和百姓过得好不好有个毛的关系呀，有的郑府穷困潦倒但民间富强安康，有的郑府富丽堂皇但百姓 ...
我倒真想看看到底哪些个西方征服穷困潦倒，民间富强的。哪些人均GDP排前面的挪威新加坡卡塔尔主权基金不要太多了。灯塔的美联储那可就更是遍及全球的吸钱大法。精美人是看不到的。毕竟嘛，清北都是职业学校，眼睛只能看兔子的不好，西方的好。反之则无视了。
时间: 2024-9-26 21:04
作者: 明月不懂
不遵守物理规律，看看实际怎么样吧
时间: 2024-9-26 21:31
作者: axuan
你司在里面凑热闹打酱油 能用好就算不错了
时间: 2024-9-26 23:59
作者: coffee198375
wjhqr 发表于 2024-9-25 16:39
郑府破不破产和百姓过得好不好有个毛的关系呀，有的郑府穷困潦倒但民间富强安康，有的郑府富丽堂皇但百姓 ...
嘴炮当然没影响。。。。
时间: 2024-9-27 00:00
作者: coffee198375
马云的云 发表于 2024-9-25 09:14
生活中受了折磨和委屈，需要在网络上发泄和沸腾。
云圣别这么说自己喂。。。。
时间: 2024-9-27 13:29
作者: 愤怒的拳头
时间: 2024-9-27 15:08
作者: laozhu
隔几天突破一个隔几天突破一个一共需要多少天呢
时间: 2024-9-29 18:26
作者: latt99
马云的云 发表于 2024-09-23 16:56:35 先拿到10个诺贝尔奖再来吹吧。基础科学都不重视，靠自信心爆棚就能赶英超美？
阿根廷的诺贝尔科学奖比中国多，所以一定比中国发达吧。
时间: 2024-9-29 18:33
作者: latt99
wjhqr 发表于 2024-09-23 17:41:25 EUV光刻机中还有大量的高精密器件，需要超高精度加工机械和超高精密测量仪器，这些美日德垄断了，这个领...
2006年6月12日，德国世界杯举办期间，第七届中国国际机械装备展览会（CIMES & CMTF 2006）在北京开幕。中国大连机床厂为给德国世界杯助兴，特别使用展台上的“九轴五连动车铣复合机床数控机床”精心雕刻出一个金属足球，吸引了不少观众的目光。“CIMES & CMTF 2006”是继德国EMO、美国芝加哥后，世界第三大国际机床展。
时间: 2024-9-29 18:35
作者: latt99
马云的云 发表于 2024-09-23 17:52:57 GDP泡泡吹的很大，然后论坛上这帮人就看不起那些GDP比我们低的西方国家了。
它们确实让人瞧不起，因为它们独家掌握的技术越来越少了，而中国有、它们没有的技术越来越多了。
时间: 2024-9-29 18:36
作者: hwwdx
诺贝尔奖这种带有意识形态的奖没有多大意义，看看每年的和平奖都发给哪些人就清楚了，特么战争贩子都能获奖。
时间: 2024-9-29 23:09
作者: coffee198375
latt99 发表于 2024-9-29 18:26
阿根廷的诺贝尔科学奖比中国多，所以一定比中国发达吧。
云圣说是的。。。。
时间: 2024-9-29 23:09
作者: coffee198375
hwwdx 发表于 2024-9-29 18:36
诺贝尔奖这种带有意识形态的奖没有多大意义，看看每年的和平奖都发给哪些人就清楚了，特么战争贩子都能获奖 ...
云圣觉得数量是一切。。。。
| 通信人家园 (https://test.txrjy.com/) |
Powered by C114 |