SK海力士6万亿买光刻机！

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9月24日消息，据韩媒报道，SK 海力士计划在未来两年内新购置约 20 台 ASML 的 EUV 光刻系统。

考虑到 SK 海力士目前持有约 20 台用于研发和生产的 EUV 机台，这意味着这家存储巨头对此类设备的保有规模将在两年内翻倍。

EUV设备价格极其高昂，每台价值在3000亿至5000亿韩元之间，且全球仅荷兰ASML一家能够生产。按单价计算，SK海力士此次投资规模预计至少在6万亿韩元以上。

这些设备将被陆续引进并分布安装在清州M15X工厂和利川M16工厂。M15X计划在今年底投产，将率先配置EUV设备；M16则会根据工艺转换（Tech Migration）的路线图逐步引入。

一位熟悉情况的业内人士透露：“SK海力士正在考虑提前启动新的EUV生产线，并与ASML保持紧密协商，以加快设备交付速度。”

在 SK 海力士的两大业务领域中，内存端的 EUV 光刻工艺早已随着 2021 年的 1a nm DRAM 实现商业化，EUV 的应用规模也在随着内存世代演进稳步提升。

而由于 AI 发展对企业级高性能存储尤其是 HBM 需求的提升，SK 海力士需要更多的 EUV 设备来扩大先进 DRAM 内存的生产规模。

除目前主要应用的 Low-NA EUV 光刻机，SK 海力士本月早些时候还在存储器业界引进了首台量产型 High-NA EUV 光刻机，即 ASML 的 TWINSCAN EXE:5200B，部署在韩国利川 M16 生产基地中。国芯网